TSMC начнёт строительство завода по производству чипов 1,4 нм

Несмотря на масштабность задачи, TSMC решила отказаться от использования новейших литографических машин High-NA EUV от ASML, каждая из которых стоит около 400 миллионов долларов. Вместо этого компания планирует применить более сложные многоуровневые методы экспонирования, позволяющие достичь нужной точности без дополнительного оборудования.

Исследования и разработка технологии A14, как называют новый техпроцесс, проходят на заводе в Синьчжу. Разрешения на строительство трех новых корпусов уже выданы, а общий объем инвестиций оценивается примерно в 49 миллиардов долларов. Около трети этой суммы компания направит на закупку 30 стандартных EUV-систем к 2027 году.

По данным источников, новый техпроцесс обеспечит снижение энергопотребления до 30%.