Российский литографический сканер на 193 нм появится через два года
Устройство позволит выпускать чипы до 5 нанометровРоссийская академия наук (РАН) планирует в ближайшие два года разработать литографический сканер с длиной волны 193 нанометра. Как заявил президент РАН Геннадий Красников, это оборудование необходимо для производства современных микросхем, включая чипы до 5 нм.