Саратовские ученые разработали сверхпрочные покрытия для электроники
© Ferra.ru
Технология позволяет проводить осаждение металла в условиях невысокого вакуума — при давлении в 250−750 раз ниже атмосферного. Процесс напыления занимает всего несколько минут, что значительно быстрее традиционных методов.
Экспериментальные результаты показали, что сцепление между металлом и керамикой в 3−8 раз превышает показатели покрытий, полученных классическими способами. При этом не требуется дополнительная высокотемпературная обработка.
Техническая керамика широко применяется в авиационных и ракетных двигателях, а также в микросхемах. Несмотря на высокую термостойкость, ее использование ограничивается хрупкостью и слабым сцеплением с металлами. Новая разработка способна устранить эти недостатки.
По словам руководителя проекта Александра Фомина, метод позволяет контролировать толщину металлического слоя с точностью до 0,3 микрометра. Технология считается перспективной для промышленного внедрения.