Процесс изготовления флэш-памяти 3D NAND ускорили плазменными технологиями

Исследователи нашли способ ускорить процесс изготовления флэш-памяти 3D NAND, которая хранит данные более плотно за счет укладки ячеек памяти. Ключ — новый метод с использованием плазмы из фтористого водорода, который позволяет вытравливать глубокие узкие отверстия, необходимые для такой памяти, в два раза быстрее.