EUV-оборудование ASML нашло применение в биомедицине

Исследовательский центр IMEC показал, что оборудование ASML для EUV-литографии, применяемое в производстве микросхем, может использоваться и в биомедицине. С помощью экстремального ультрафиолета удалось наладить изготовление нанопор сразу на уровне целой кремниевой пластины.