Новгородские учёные усовершенствовали технологию производства микроэлектроники
Решение снижает брак при вакуумном напылении© Ferra.ru
Специалисты создали специальную заслонку с отверстиями особой формы для установки УВН 71-ПЗ. Это решение предотвращает попадание излишков материала на подложку и обеспечивает равномерное покрытие. Как пояснил участник проекта Дмитрий Корцов, принцип работы аналогичен использованию трафарета для равномерного нанесения сахарной пудры на кондитерские изделия.
Модернизация позволила предприятию сэкономить значительные средства — замена оборудования обошлась бы в 50 млн рублей, тогда как разработка новгородских специалистов потребовала гораздо меньших затрат. При этом установка заслонки не требует разбора станка, что сохраняет целостность производственной линии.
Разработка выполнена при поддержке Минобрнауки в рамках «Десятилетия науки и технологий». Технология может быть применена на других предприятиях, использующих аналогичное оборудование.