В России создали установку для производства микросхем

ПХО — один из ключевых процессов в производстве микросхем. До недавнего времени такие установки поставлялись исключительно из-за рубежа, однако теперь у России появилась возможность производить их самостоятельно. Это важный шаг в укреплении технологического суверенитета страны.

По словам начальника отдела перспективных разработок НИИТМ Георгия Ерицяна, новая установка может работать не только с 300-миллиметровыми пластинами, но и адаптироваться для обработки 200-миллиметровых. Это позволит предприятиям тестировать ее на уже существующих технологических процессах и постепенно переходить на работу с пластинами большего размера.

Разработчикам удалось в короткие сроки локализовать производство всех компонентов оборудования. При этом технологические параметры установки соответствуют мировым стандартам и не уступают зарубежным аналогам.